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   干式螺桿真空泵,，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,，兩螺桿經(jīng)精細動平衡校正,，由軸承支撐，安裝在泵殼中,，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,，因此泵工作時，相互之間無磨擦,，運轉(zhuǎn)平穩(wěn),，噪音低，工作腔無需潤滑油,，因此,，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高,，消耗功率更低,，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點,。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品,。

   干式機械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：

1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中,；

2）半導(dǎo)體刻蝕工藝,。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求,；

4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè),、食品工業(yè)中的蒸餾,、干燥、脫泡,、包裝等,，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵,；

5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,，以防止油污染。